IR加熱を用いたMEMSセンサーワークの乾燥処理 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェットエッチングや洗浄後の残留水分を除去するのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは大きなボトルネックです。多くの場合、すべての部品を対流オーブンに入れて加熱しますが、それはまるでパイの一片を温めるためだ...

化学処理を行う環境でIRランプを安全に使うために 正直に言って、ウェーハ処理用のツールを清掃するのは非常に危険な作業です。そこでは不安定で可燃性の高い溶剤が使用されるため、注意が必要です。もし通常のIRランプをそのような環境で使用すれば、問題が起きる可能性が高くなります。ちょっとした火花や高温の表...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、何が何でもミスを犯してはいけません。わずかなガスの漏れや微小な粒子があっただけで、シリコンの品質が著しく低下してしまいます。これは本当に厄介です。一般的な加熱要素では、微細な汚れが発生し、すべてを台無しにしてしまいます。 だからこそ、私...

ファブ内で正確な赤外線センシングを実現するにはどうすればよいか もし、自社のファブのデジタルツインを作成しようとするなら、センサー自体はそれほど難しくないことがすぐにわかります。本当の課題は、データが変化しないようにすることです。ウェハの処理においては、高精度な赤外線センサーを利用してリアルタイム...

ウェーハ硬化用ランプが爆発しないようにするために ウェーハ硬化用ランプは、基本的には非常に高温を発する装置です。高電圧で動作し、極度に熱くなります。絶縁体が破損したり、電流が漏れ出したりすると、単にブレーカーが切れるだけでは済まされません。シリコンウェーハが破壊され、生産ラインも停止してしまいます...

化学的な洗浄を行う際にウェーハを加熱するというのは、文字通り火遊びのようなものです。周囲には可燃性や爆発性のある蒸気が漂っているため、単純に石英ランプを化学液の中に入れておくだけでは危険すぎます。それは災害を招く行為です。 安全を確保するために、私たちは2つの点に重点を置きます。1つ目は、適切な距...

生産ラインにおいて、ドライヤーブルブは単なる便利なアイテムではありません。それは、製造品質を保つための重要な要素なのです。ソフトベイクやハードベイクの際に±0.5°Cの温度変動があると、フォトレジストの特性が崩れてしまい、その結果、廃棄や再作業のコストがかかってしまいます。そこで私たちは、高効率な...

バーンイン工程において、温度というのは単なる設定値に過ぎないわけではありません。それ自体がプロセスそのものです。数度の温度変動だけで、潜在的な欠陥が隠れてしまったり、本来出荷されるはずのウェーハが不良品として廃棄されてしまうこともあります。私たちは、このような不確実性を排除するために、ウェーハのバ...