ホットプレートの代わりに使える赤外線ヒーター

ファブの現場では、わずか数度の温度変動だけでも、フォトレジストの特性が乱れてしまいます。その結果、ラインが停止したり、粒子数が増加したりし、欠陥が発見される前に歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような温度変動をなくすために赤外線ヒーターを開発しました。これにより、シフトを重ねてもフォトレ...