デジタル赤外線乾燥機コントローラー
クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、粒子が飛び散ってしまうという問題をご存知でしょう。ヒーターから出るわずかな破片だけでも、作業中の製品は台無しになってしまいます。一般的な抵抗式ヒーターでは、このような状況に対応でき...
高効率ウェーハ乾燥用バルブ
生産ラインにおいて、ドライヤーブルブは単なる便利なアイテムではありません。それは、製造品質を保つための重要な要素なのです。ソフトベイクやハードベイクの際に±0.5°Cの温度変動があると、フォトレジストの特性が崩れてしまい、その結果、廃棄や再作業のコストがかかってしまいます。そこで私たちは、高効率な...