ガラスの破片による被害を防ぐ：ウェーハ処理におけるチューブの破裂問題への対処法 正直に言うと、赤外線ランプが破裂するのは本当に最悪の事態です。石英チューブが壊れると、装置の稼働時間が失われるだけでなく、ガラスの破片や金属の破片がウェーハに飛び散ります。一度でも破裂してしまうと、そのロット全体が廃棄...

なぜ無駄な努力を続けるのか？ファブでの赤外線方式と強制送風方式の違い 半導体製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。常に時間との戦いがあり、部品を適切な温度に保つために絶えず努力しなければなりません。 古い工場では、依然として強制送風方式が使われており、温度を安定させるために...