ウェハ用高精度IRセンサー

ファブ内で正確な赤外線センシングを実現するにはどうすればよいか もし、自社のファブのデジタルツインを作成しようとするなら、センサー自体はそれほど難しくないことがすぐにわかります。本当の課題は、データが変化しないようにすることです。ウェハの処理においては、高精度な赤外線センサーを利用してリアルタイム...