チャンバーの壁を加熱しなくて済むのです。 ほとんどの加熱要素は、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度から熱が放出され、目に見えるすべてのものが影響を受けます。狭い半導体チャンバー内で作業している場合、これは大きな問題です。高価な内壁が、本来扱うべきではないほどの高温にさらされてしまうので...

ウェーハの加熱において電力を無駄にしないためのより良い方法 ウェーハの処理において、電力の無駄遣いは基本的に設計上の欠陥です。ヒーターを作るとき、単に「熱を発生させる」だけでは不十分です。重要なのは、その光子を正確にウェーハの表面に届けることです。 問題点は、一般的な石英ランプはエネルギーをあらゆ...

なぜ、私たちが金メッキされた赤外線ランプのテストにこだわるのか 半導体製造工場では、正確な熱分布を実現することが何よりも重要です。そのため、私たちは金メッキされた赤外線ランプを使用し、短波長のエネルギーをウェーハに直接送り込みます。これは熱を集中させるのに優れた方法ですが、問題点もあります。このラ...

半導体の製造には多くの熱が必要であり、高い精度も求められます。しかし、依然として従来の抵抗加熱方式を使っている場合、実質的にはウェーハ自体ではなく部屋の空気を温めるためにお金を払っていることになります。これは非効率的で、エネルギーコストもかかります。 そこで役立つのが短波長のIRランプです。このラ...

ウェーハを温め続ける：スマートトロリー用の赤外線ヒーターの真実 現代の半導体製造工場を運営している人なら、温度の変動が大きな問題であることをご存知でしょう。ウェーハをある場所から別の場所へ移動させる際、「十分に温かければよい」というわけにはいきません。ウェーハを一定の温度に保つ必要があります。 そ...

半導体加熱：高性能を手に入れて、高額なコストは避けよう。 必要な性能を得つつ、高額な支払いを避ける方法について話しましょう。私たちが開発した赤外線加熱ランプは、半導体製造装置に使われている高価なブランド製品に代わるものです。 つまり、同じ性能を持ちながら、コストはずっと安いのです。精密な加熱が可能...

はじめに 率直に言いましょう。半導体業界においては、コストを抑えることが不可欠です。そして、使用する加熱装置もまた、非常に重要な要素です。 そこで私たちは、インフラレッド加熱ランプを開発しました。その目的は、ブランド名による高額な価格を支払わずに、優れた性能を提供することです。私たちは中間業者を排...

製造現場において、90℃でのソフトベイクは単なる推奨事項ではなく、必須の規格です。2℃の変動だけでもフォトレジストの特性が変わり、線幅のばらつきが生じ、良品が廃棄物になってしまいます。私たちは、このような状況に対応するために半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。 技術的に重要な点 このヒーターは...

Role ファブフロアにおいて、ソフトベークやハードベーク中の0.5°Cのドリフトは小さな偏差ではない。これは歩留まり低下を意味する。フォトレジストのプロファイルがずれ、クリティカルディメンションの制御が緩み、ロットはそのままリワークへ回される。私たちはこのOEM半導体加熱素子を、リソグラフィーお...