クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

なぜウェーハ加工には金メッキされた赤外線反射器が使われるのか クリーンルームで作業を行う際、重要なのは単に「物を熱くする」ということだけではありません。重要なのは精度です。シリコン表面に届くエネルギーのすべてが無駄にならず、装置の内部に消えてしまわないようにする必要があります。 そこで役立つのが金...