IR加熱を用いたMEMSセンサーワークの乾燥処理 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェットエッチングや洗浄後の残留水分を除去するのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは大きなボトルネックです。多くの場合、すべての部品を対流オーブンに入れて加熱しますが、それはまるでパイの一片を温めるためだ...

乾燥ラインでの熱の無駄遣いを止めましょう。 もしウェーハ乾燥ラインに対してエネルギー審査を行ったことがあるなら、問題がどこにあるかよくわかるでしょう。それは、ランプと基板上の位置の間の隙間です。 一般的な反射器では、赤外線エネルギーがあちこちに散らばってしまいます。ウェーハに当たる代わりに、その多...

触媒処理の工程において、15分間の加熱処理を行うと、前回のインク調整で得られた効果がすべて台無しになってしまいます。層の均一性が悪くなり、粒子数も増えてしまい、触媒層は望ましい多孔度に到達しません。私たちは、このような事態を防ぐために、この燃料電池用触媒乾燥ランプを開発しました。 重要なポイント...