中国製ファブヒーター工場

リソグラフィーの現場では、ソフトベーク中の半度のドリフトが、ライン幅をナノメートル単位で変化させるのに十分です。ハードベークを少し高温で実行すると、最終テストまでの欠陥が焼き込まれます。歩留まりを追求する場合、「温かい」では不十分です。ウェーハレベルの均一性を保持するヒーターが必要です—クラス...