UHP 超高純度 ヒーターランプ
なぜ方向性を持つIR加熱がUHP半導体製造において重要なのか
ほとんどの加熱素子は、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位にエネルギーが放出されるわけです。半導体製造においては、これは問題です。実際に部品を加熱する代わりに、装置の内壁が過剰に加熱されてしまいます。さらに悪いことに、装...
高天井用ファクトリーラディエーター
赤ちゃんを暖かく保つために(眩しい光は避けて) ほとんどの赤外線ランプは、基本的には熱を放出する装置です。非常に強烈な光が放たれるため、特に目がまだ発達していない赤ちゃんにとっては問題があります。誰も、バスルームでそんな強烈な光を欲しがりません。
そこで、私たちは光の特性を変えました。単純な短波長...
高効率ウェーハ乾燥用バルブ
生産ラインにおいて、ドライヤーブルブは単なる便利なアイテムではありません。それは、製造品質を保つための重要な要素なのです。ソフトベイクやハードベイクの際に±0.5°Cの温度変動があると、フォトレジストの特性が崩れてしまい、その結果、廃棄や再作業のコストがかかってしまいます。そこで私たちは、高効率な...
高出力電気ヒーター
熱の源となる電力 このヒーターの本質的な用途について説明します。産業用加熱の中でも、強力かつ集中的な出力が求められる厳しい環境を想定して設計されています。
電圧とワット数を作業内容に合わせることが重要です。たとえば、400V、2500Wの構成は300mmのチューブに強力な熱エネルギーを詰め込み、高...