半導体の製造には多くの熱が必要であり、高い精度も求められます。しかし、依然として従来の抵抗加熱方式を使っている場合、実質的にはウェーハ自体ではなく部屋の空気を温めるためにお金を払っていることになります。これは非効率的で、エネルギーコストもかかります。 そこで役立つのが短波長のIRランプです。このラ...

スマートな赤外線ヒーターを実際に使えるようにするために 私たちは、面倒な手間なしに本当の暖かさを得たいと思う人々のために、交換用の赤外線ヒーターを製造しています。もしこれらをスマートホームシステムに接続しようとする場合、単にスイッチを切り替えるだけでは不十分です。実際には、小さなデジタルリレーを通...

製造現場において、90℃でのソフトベイクは単なる推奨事項ではなく、必須の規格です。2℃の変動だけでもフォトレジストの特性が変わり、線幅のばらつきが生じ、良品が廃棄物になってしまいます。私たちは、このような状況に対応するために半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。 技術的に重要な点 このヒーターは...

バーンイン工程において、温度というのは単なる設定値に過ぎないわけではありません。それ自体がプロセスそのものです。数度の温度変動だけで、潜在的な欠陥が隠れてしまったり、本来出荷されるはずのウェーハが不良品として廃棄されてしまうこともあります。私たちは、このような不確実性を排除するために、ウェーハのバ...