ウェーハ加熱の安全距離

化学的な洗浄を行う際にウェーハを加熱するというのは、文字通り火遊びのようなものです。周囲には可燃性や爆発性のある蒸気が漂っているため、単純に石英ランプを化学液の中に入れておくだけでは危険すぎます。それは災害を招く行為です。 安全を確保するために、私たちは2つの点に重点を置きます。1つ目は、適切な距...