半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウェーハを温め続ける：スマートトロリー用の赤外線ヒーターの真実 現代の半導体製造工場を運営している人なら、温度の変動が大きな問題であることをご存知でしょう。ウェーハをある場所から別の場所へ移動させる際、「十分に温かければよい」というわけにはいきません。ウェーハを一定の温度に保つ必要があります。 そ...