半導体ヒーター用テフロン線

ウェーハの加熱において電力を無駄にしないためのより良い方法 ウェーハの処理において、電力の無駄遣いは基本的に設計上の欠陥です。ヒーターを作るとき、単に「熱を発生させる」だけでは不十分です。重要なのは、その光子を正確にウェーハの表面に届けることです。 問題点は、一般的な石英ランプはエネルギーをあらゆ...