クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ

ガラスの破片による被害を防ぐ：ウェーハ処理におけるチューブの破裂問題への対処法 正直に言うと、赤外線ランプが破裂するのは本当に最悪の事態です。石英チューブが壊れると、装置の稼働時間が失われるだけでなく、ガラスの破片や金属の破片がウェーハに飛び散ります。一度でも破裂してしまうと、そのロット全体が廃棄...