クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター
なぜウェーハ加工には金メッキされた赤外線反射器が使われるのか
クリーンルームで作業を行う際、重要なのは単に「物を熱くする」ということだけではありません。重要なのは精度です。シリコン表面に届くエネルギーのすべてが無駄にならず、装置の内部に消えてしまわないようにする必要があります。
そこで役立つのが金...
半導体オーブンの加熱素子
はじめに 率直に言いましょう。半導体業界においては、コストを抑えることが不可欠です。そして、使用する加熱装置もまた、非常に重要な要素です。
そこで私たちは、インフラレッド加熱ランプを開発しました。その目的は、ブランド名による高額な価格を支払わずに、優れた性能を提供することです。私たちは中間業者を排...