ファブヒーター用電源ケーブル

ファブフロアにおいて、ヒーターは単にチャンバーを温めるだけではない。フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイク、ウェーハの洗浄と乾燥、そして温度ドリフトがオーバーレイ誤差やCDバイアスとして現れるすべての工程における熱的基準を設定する。ヒーターに電力を供給するケーブルの性能が不十分であれば、警...