アイクストロン ヒーター素子 交換用

実際に、AixtronのMOCVDリアクターにおいては、温度制御が非常に重要です。もしヒーター要素の性能が悪化すると、温度の均一性が崩れてしまいます。その結果、ウェーハの品質が低下し、工程間での再現性も悪くなります。そうなると、運転時間を確保する代わりに、粒子数の管理に追われることになります。正規...