高効率ウェーハ乾燥用バルブ

生産ラインにおいて、ドライヤーブルブは単なる便利なアイテムではありません。それは、製造品質を保つための重要な要素なのです。ソフトベイクやハードベイクの際に±0.5°Cの温度変動があると、フォトレジストの特性が崩れてしまい、その結果、廃棄や再作業のコストがかかってしまいます。そこで私たちは、高効率な...