省エネ型半導体ヒーター

半導体の製造には多くの熱が必要であり、高い精度も求められます。しかし、依然として従来の抵抗加熱方式を使っている場合、実質的にはウェーハ自体ではなく部屋の空気を温めるためにお金を払っていることになります。これは非効率的で、エネルギーコストもかかります。 そこで役立つのが短波長のIRランプです。このラ...