熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的なのか 半導体製造工場では、無駄になるエネルギーはすべて、無駄に消えてしまうお金と同じです。ほとんどのIRランプは効率が悪く、熱があらゆる方向に放出されますが、実際に重要なのはウェハ表面だけです。 私たちはこの問題を解決することにし...

赤外線を活用して、ファブを真に「スマート」なものにする Industry 4.0の環境を構築したいと思っているなら、ソフトウェアだけでは不十分だということはご存知でしょう。たとえ最も高機能なダッシュボードを持っていても、ハードウェアがデータ層と通信できなければ、単なる推測に過ぎません。 そこで役立...

乾燥ラインでの熱の無駄遣いを止めましょう。 もしウェーハ乾燥ラインに対してエネルギー審査を行ったことがあるなら、問題がどこにあるかよくわかるでしょう。それは、ランプと基板上の位置の間の隙間です。 一般的な反射器では、赤外線エネルギーがあちこちに散らばってしまいます。ウェーハに当たる代わりに、その多...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100のクリーンルームを運営していると、わずかな粒子があっただけでも大変な問題になります。わずかなほこりやガス漏れだけで、ウェハーや光学部品は使い物にならなくなってしまいます。本当に厄介です。 通常の加熱要素は、こうした問題の原因とな...

半導体製造において、熱管理は非常に重要です。しかし、真にカーボンニュートラルを実現したいのであれば、エネルギーが無駄に消費される箇所をなくす必要があります。私たちにとって、それは赤外線加熱システムのケースに焦点を当てることを意味します。もし熱がクリーンルーム内に漏れ出してしまうと、それは単にお金や...

なぜ、シンプルな石英ガラスのシールドが製造工場のエネルギーコストを削減できるのか 半導体製造工場で働いている人なら、IRヒーターランプの問題をよく知っているでしょう。正確な温度制御が必要です。しかし、カーボンニュートラルを実現したいのであれば、単にランプを交換するだけでは不十分です。熱がウェーハに...

リソグラフィーの現場では、ソフトベーク中の半度のドリフトが、ライン幅をナノメートル単位で変化させるのに十分です。ハードベークを少し高温で実行すると、最終テストまでの欠陥が焼き込まれます。歩留まりを追求する場合、「温かい」では不十分です。ウェーハレベルの均一性を保持するヒーターが必要です—クラス...

ファブフロアにおいて、ヒーターは単にチャンバーを温めるだけではない。フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイク、ウェーハの洗浄と乾燥、そして温度ドリフトがオーバーレイ誤差やCDバイアスとして現れるすべての工程における熱的基準を設定する。ヒーターに電力を供給するケーブルの性能が不十分であれば、警...