IR加熱を用いたMEMSセンサーワークの乾燥処理 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェットエッチングや洗浄後の残留水分を除去するのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは大きなボトルネックです。多くの場合、すべての部品を対流オーブンに入れて加熱しますが、それはまるでパイの一片を温めるためだ...

水素センサーを加熱するためのより良い方法 水素センサーを作るには、熱が不可欠です。センサー材料が正しく機能するためには、正確な温度制御が必要ですが、従来の方法では、大きな対流式オーブンを使う必要があります。これは時間もエネルギーも無駄にすることになります。 そこで私たちは短波赤外線ランプを使用する...

化学処理を行う環境でIRランプを安全に使うために 正直に言って、ウェーハ処理用のツールを清掃するのは非常に危険な作業です。そこでは不安定で可燃性の高い溶剤が使用されるため、注意が必要です。もし通常のIRランプをそのような環境で使用すれば、問題が起きる可能性が高くなります。ちょっとした火花や高温の表...

ファブ内で正確な赤外線センシングを実現するにはどうすればよいか もし、自社のファブのデジタルツインを作成しようとするなら、センサー自体はそれほど難しくないことがすぐにわかります。本当の課題は、データが変化しないようにすることです。ウェハの処理においては、高精度な赤外線センサーを利用してリアルタイム...

半導体のパッケージングにおける炭素削減：なぜ赤外線が最適なのか 正直言って、半導体を製造するのは非常にエネルギーを消費する作業です。工場で働いたことがある人なら、その状況はよくわかるでしょう。しかし、スマートセンサーのパッケージングの仕方には大きな変化が見られています。以前は、熱風をあちこちに送り...