UHP 超高純度 ヒーターランプ

なぜ方向性を持つIR加熱がUHP半導体製造において重要なのか ほとんどの加熱素子は、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位にエネルギーが放出されるわけです。半導体製造においては、これは問題です。実際に部品を加熱する代わりに、装置の内壁が過剰に加熱されてしまいます。さらに悪いことに、装...