OEM半導体ヒーター素子

Role ファブフロアにおいて、ソフトベークやハードベーク中の0.5°Cのドリフトは小さな偏差ではない。これは歩留まり低下を意味する。フォトレジストのプロファイルがずれ、クリティカルディメンションの制御が緩み、ロットはそのままリワークへ回される。私たちはこのOEM半導体加熱素子を、リソグラフィーお...