MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

IR加熱を用いたMEMSセンサーワークの乾燥処理 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェットエッチングや洗浄後の残留水分を除去するのがどれほど面倒かご存知でしょう。これは大きなボトルネックです。多くの場合、すべての部品を対流オーブンに入れて加熱しますが、それはまるでパイの一片を温めるためだ...