省エネ型ウェーハヒーター

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、何が何でもミスを犯してはいけません。わずかなガスの漏れや微小な粒子があっただけで、シリコンの品質が著しく低下してしまいます。これは本当に厄介です。一般的な加熱要素では、微細な汚れが発生し、すべてを台無しにしてしまいます。 だからこそ、私...