工場乾燥設備のエネルギー診断

乾燥ラインでの熱の無駄遣いを止めましょう。 もしウェーハ乾燥ラインに対してエネルギー審査を行ったことがあるなら、問題がどこにあるかよくわかるでしょう。それは、ランプと基板上の位置の間の隙間です。 一般的な反射器では、赤外線エネルギーがあちこちに散らばってしまいます。ウェーハに当たる代わりに、その多...