ウェーハ加熱の安全距離
化学的な洗浄を行う際にウェーハを加熱するというのは、文字通り火遊びのようなものです。周囲には可燃性や爆発性のある蒸気が漂っているため、単純に石英ランプを化学液の中に入れておくだけでは危険すぎます。それは災害を招く行為です。
安全を確保するために、私たちは2つの点に重点を置きます。1つ目は、適切な距...
防水型加熱テーブル IP44
なぜ、古いタイプのバスルーム用ヒーターをIP44等級の赤外線ヒーターに置き換えるのか? 正直に言って、昔のバスルーム用ヒーターはあまり良くありません。大きな電球を使っており、電力を大量に消費し、熱も無駄になります。さらに、最も必要な時に壊れてしまうこともあります。 だからこそ、私たちはIP44等級...
半導体オーブンの加熱素子
はじめに 率直に言いましょう。半導体業界においては、コストを抑えることが不可欠です。そして、使用する加熱装置もまた、非常に重要な要素です。
そこで私たちは、インフラレッド加熱ランプを開発しました。その目的は、ブランド名による高額な価格を支払わずに、優れた性能を提供することです。私たちは中間業者を排...
OEM半導体ヒーター素子
Role ファブフロアにおいて、ソフトベークやハードベーク中の0.5°Cのドリフトは小さな偏差ではない。これは歩留まり低下を意味する。フォトレジストのプロファイルがずれ、クリティカルディメンションの制御が緩み、ロットはそのままリワークへ回される。私たちはこのOEM半導体加熱素子を、リソグラフィーお...