真空チャンバー用赤外線ヒーター

ウェーハを安全に保つために：ヒーターの設計がなぜ重要か 高負荷の半導体製造を行っている方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。真空チャンバー内でランプが壊れてしまうのです。 これは単に「工程が止まる」というだけではありません。石英管が破裂すると、まるでガラス製の手榴弾のようになります。破片や金属...