에너지 효율적인 웨이퍼 히터
클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 환경에서 웨이퍼를 가열할 때는 단 한 번의 실수도 용납될 수 없습니다. 아주 작은 양의 기체가 방출되거나 미세한 입자들만 있어도 실리콘의 품질이 현저히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일입니다. 대부분의...
공장 건조 공정의 에너지 진단
건조 라인에서의 열 낭비를 막으세요.
웨이퍼 건조 라인에 대한 에너지 점검을 해본 적이 있다면, 문제가 어디에 있는지 잘 알 것입니다. 바로 램프와 기판 사이의 공간입니다.
대부분의 일반적인 반사체들은 적외선 에너지를 모든 방향으로 흩뿌립니다. 그래서 웨이퍼에 도달하...
에너지 절약형 반도체 히팅
반도체 제조 과정에서의 탄소 배출 감소: 적외선 가열의 효과
반도체를 생산하는 데에는 많은 열이 필요하며, 정밀한 제어도 요구됩니다. 하지만 여전히 기존의 저항식 가열 방식을 사용한다면, 결국 웨이퍼 자체가 아닌 방 안의 공기를 데우는 데 비용이 드는 셈입니다. 이...