OEM 반도체 히팅 요소

Fab 라인에서 소프트 베이크 또는 하드 베이크 중 0.5°C의 온도 편차는 작은 변동이 아니다. 이는 수율 저하로 직결된다. 포토레지스트 프로파일이 변동하고, 크리티컬 디멘션 제어가 흔들리며, 해당 로트는 바로 재작업으로 넘어간다. 본 OEM 반도체 히팅 엘리먼트는...