아이크스트론 히터 요소 교체용 부품

실제 작동 시, Aixtron MOCVD 반응기는 온도 조절의 핵심이 되는 부분입니다. 히터 요소에 문제가 생기면 온도 균일성이 저하됩니다. 그 결과 웨이퍼의 품질이 떨어지고, 작업 간 일관성도 사라집니다. 이런 상황에서는 가동 시간보다는 불순물 수를 줄이는 데 집중...