고효율 웨이퍼 건조용 덕트

생산 라인에서 드라이어 볼브는 단순히 유용한 부품이 아닙니다. 이는 생산 효율을 결정하는 핵심 요소입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 ±0.5°C만 변해도 포토레지스트의 성능에 영향을 주며, 그 결과 웨이퍼를 폐기하거나 재가공해야 하는 상황이 발생합...