IR 가열을 이용한 MEMS 센서 웨이퍼의 건조 방법 MEMS 제조 과정에서 일해본 사람이라면, 습식 에칭이나 청소 후에 남은 수분을 제거하는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 이는 매우 큰 문제입니다. 대부분의 사람들은 그냥 모든 것을 대류 오븐에 넣어...

건조 라인에서의 열 낭비를 막으세요. 웨이퍼 건조 라인에 대한 에너지 점검을 해본 적이 있다면, 문제가 어디에 있는지 잘 알 것입니다. 바로 램프와 기판 사이의 공간입니다. 대부분의 일반적인 반사체들은 적외선 에너지를 모든 방향으로 흩뿌립니다. 그래서 웨이퍼에 도달하...

촉매 처리 과정에서 15분간의 램프 조명을 사용하면, 이전에 얻은 성과가 모두 사라집니다. 층의 균일성이 저하되고, 입자 수도 증가하며, 촉매층도 원하는 정도의 다공성을 갖지 못합니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 이 연료전지 촉매 건조 램프를 개발했습니다....