중국에서 제조된 패브 히터 공장
리소그래피 공정 리소그래피 플로어에서 소프트 베이크 중 반도체가 반도에 드리프트가 발생하면 라인 폭이 나노미터 단위로 변동할 수 있다. 하드 베이크를 너무 뜨겁게 실시하면 최종 테스트까지 결함이 생길 수 있다. 수율을 추구하고 있다면, “따뜻한”...
공장 히터용 전원 케이블
반도체 제조 현장에서 히터는 단순히 챔버를 가열하는 역할을 하지 않는다. 히터는 포토레지스트 소프트 베이크와 하드 베이크, 웨이퍼 세정 및 건조 공정, 그리고 온도 편차가 오버레이 오차 및 CD 바이어스로 나타나는 모든 단계의 열 기준선을 설정한다. 이 히터에 전력을...