호트플레이트 대체용 적외선 히터

생산 라인에서는 아주 작은 온도 변화만으로도 포토레지스트의 특성이 변해버립니다. 그로 인해 생산이 중단되고, 입자 수가 증가하며, 결함 검사 전에도 생산 효율이 떨어집니다. 저희는 이러한 변동성을 없애기 위해 적외선 히터를 개발했습니다. 이를 통해 리소그래피 공정이...