MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
IR 가열을 이용한 MEMS 센서 웨이퍼의 건조 방법
MEMS 제조 과정에서 일해본 사람이라면, 습식 에칭이나 청소 후에 남은 수분을 제거하는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 이는 매우 큰 문제입니다. 대부분의 사람들은 그냥 모든 것을 대류 오븐에 넣어...
수소 센서 제조용 히터
수소 센서를 가열하는 더 나은 방법
수소 센서를 만드는 데 있어 가장 중요한 것은 바로 열입니다. 센서가 제대로 작동하려면 정밀한 열 조절이 필요하지만, 기존의 방식인 대형 대류 오븐을 사용하는 것은 효율적이지 않습니다. 결국 엄청난 양의 에너지가 낭비됩니다.
그래서...
웨이퍼 공정용 온도 센서
화학 처리 구역에서 IR 램프를 안전하게 보호하기
솔직히 말해서, 웨이퍼 처리 과정은 매우 위험한 작업입니다. 반응성이 강하고 인화성이 높은 용매들을 다루어야 하기 때문입니다. 이러한 환경에서 일반적인 IR 램프를 사용한다면, 그건 곧 문제를 초래하는 것과 같습니다....
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
팹 내에서 정확한 적외선 온도 감지를 실현하는 방법
만약 팹을 위한 디지털 트윈을 만들고자 한다면, 센서 자체는 그다지 어려운 요소가 아니라는 것을 금방 알게 됩니다. 진짜 문제는 데이터의 안정성을 확보하는 것입니다. 웨이퍼 처리 시에는 고정밀 적외선 센서를 사용하여...
스마트 센서 패키징 적외선
반도체 포장 과정에서의 탄소 배출 감소: 왜 적외선이 최적의 해결책인가?
솔직히 말하자면, 반도체를 제조하는 데는 엄청난 에너지가 필요합니다. 공장에서 일해본 사람이라면 이 점을 잘 알 것입니다. 하지만 이제는 스마트 센서 포장 방식에 있어서 큰 변화가 일어나고 있습...