진공 챔버용 적외선 히터

와이퍼를 안전하게 보호하기 위해: 히터 설계가 왜 중요한가? 고부하의 반도체 생산을 진행할 때는 끔찍한 상황이 발생할 수 있습니다. 진공 챔버 내부의 램프가 고장 나는 것이죠. 이는 단순히 생산이 중단되는 문제가 아닙니다. 석영관이 파열되면 마치 유리 수류탄처럼 변합...