웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

화학 세정 구역에서 웨이퍼를 가열할 때는, 말 그대로 불을 다루는 것과 같습니다. 주변에는 인화성이 있고 폭발성인 증기들이 많이 있기 때문에, 그냥 일반적인 석영 램프를 화학액 위에 올려놓고 그냥 기다릴 수는 없습니다. 그건 재앙을 부를 뿐입니다. 안전을 위해서는 두...