공장 건조 공정의 에너지 진단

건조 라인에서의 열 낭비를 막으세요. 웨이퍼 건조 라인에 대한 에너지 점검을 해본 적이 있다면, 문제가 어디에 있는지 잘 알 것입니다. 바로 램프와 기판 사이의 공간입니다. 대부분의 일반적인 반사체들은 적외선 에너지를 모든 방향으로 흩뿌립니다. 그래서 웨이퍼에 도달하...