IR 가열을 이용한 MEMS 센서 웨이퍼의 건조 방법 MEMS 제조 과정에서 일해본 사람이라면, 습식 에칭이나 청소 후에 남은 수분을 제거하는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 이는 매우 큰 문제입니다. 대부분의 사람들은 그냥 모든 것을 대류 오븐에 넣어...

화학 처리 구역에서 IR 램프를 안전하게 보호하기 솔직히 말해서, 웨이퍼 처리 과정은 매우 위험한 작업입니다. 반응성이 강하고 인화성이 높은 용매들을 다루어야 하기 때문입니다. 이러한 환경에서 일반적인 IR 램프를 사용한다면, 그건 곧 문제를 초래하는 것과 같습니다....

클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 환경에서 웨이퍼를 가열할 때는 단 한 번의 실수도 용납될 수 없습니다. 아주 작은 양의 기체가 방출되거나 미세한 입자들만 있어도 실리콘의 품질이 현저히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일입니다. 대부분의...

팹 내에서 정확한 적외선 온도 감지를 실현하는 방법 만약 팹을 위한 디지털 트윈을 만들고자 한다면, 센서 자체는 그다지 어려운 요소가 아니라는 것을 금방 알게 됩니다. 진짜 문제는 데이터의 안정성을 확보하는 것입니다. 웨이퍼 처리 시에는 고정밀 적외선 센서를 사용하여...

웨이퍼 경화용 램프가 폭발하지 않도록 하는 방법 웨이퍼 경화용 램프는 사실상 엄청난 열을 내는 장치입니다. 고전압으로 작동하기 때문에 매우 뜨거워집니다. 절연체에 문제가 생기거나 전류가 새면, 단순히 차단기가 작동하는 것에 그치지 않습니다. 실리콘 웨이퍼가 파괴되고...

화학 세정 구역에서 웨이퍼를 가열할 때는, 말 그대로 불을 다루는 것과 같습니다. 주변에는 인화성이 있고 폭발성인 증기들이 많이 있기 때문에, 그냥 일반적인 석영 램프를 화학액 위에 올려놓고 그냥 기다릴 수는 없습니다. 그건 재앙을 부를 뿐입니다. 안전을 위해서는 두...

생산 라인에서 드라이어 볼브는 단순히 유용한 부품이 아닙니다. 이는 생산 효율을 결정하는 핵심 요소입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 ±0.5°C만 변해도 포토레지스트의 성능에 영향을 주며, 그 결과 웨이퍼를 폐기하거나 재가공해야 하는 상황이 발생합...