클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100급 환경에서 웨이퍼를 가열할 때는 단 한 번의 실수도 용납될 수 없습니다. 아주 작은 양의 기체가 방출되거나 미세한 입자들만 있어도 실리콘의 품질이 현저히 떨어집니다. 정말 짜증나는 일입니다. 대부분의 일반적인 가열 요소들은 이러한 환경에 적합하지 않습니다. 그런 요소들은 미세한 먼지를 방출하여 모든 것을 망쳐버립니다.
그래서 저희는 IR 램프에 고순도 합성 석영을 사용하기로 했습니다.
석영이 왜 중요한가?
저희는 불순물이 거의 없는 융합 규소를 사용합니다. 왜냐하면 온도가 높아지면 저렴한 유리는 쉽게 파괴되기 때문입니다.
이 석영 튜브들은 마치 요새와 같아서 텅스텐 필라멘트를 웨이퍼로부터 분리해 줍니다. 화학적으로 비활성인 재료이기 때문에, 저렴한 튜브에서 발생하는 그런 성가신 “먼지” 문제도 없습니다. 이것이 바로 고온 작업 시에도 공기를 깨끗하게 유지할 수 있는 유일한 방법입니다.
정확한 열 전달
저희 램프는 단파 방사선을 사용합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 데우는 데 시간을 낭비하는 대신, 열이 직접 웨이퍼 표면으로 전달됩니다. 매우 빠릅니다. 그래서 웨이퍼 전체의 온도가 균일하게 유지됩니다.
다만 주의할 점이 있습니다. 소형 공간에 많은 와트数가 집약되어 있기 때문에, 쿨링 시스템을 제대로 설계해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 램프의 끝부분이 과열되어 고장날 수 있습니다. 아무도 근무 중에 그런 문제를 겪고 싶지는 않을 것입니다.
설치 및 사용 방법
저희는 표준 커넥터를 사용하여 램프를 제작했기 때문에, 기존 장비에 그대로 연결할 수 있습니다. 복잡한 과정은 필요 없습니다. 밀폐성도 매우 뛰어나므로 할로겐 가스가 새어 나가는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
설치할 때 한 가지 팁을 드리자면, 접점을 항상 깨끗하게 유지해 주세요. 접점에 산화가 생기면 열점이 생기고, 이는 석영이 파손되는 원인이 됩니다.
또한, 램프의 스펙트럼 출력이 웨이퍼의 재질과 일치하는지 확인해 주세요. 그렇게 하면 에너지 낭비를 막을 수 있으며, 순도를 해치지 않으면서도 프로세스를 효율적으로 진행할 수 있습니다.