フォトレジスト焼成ランプ

リソグラフィーの工程では、ソフトベイクやハードベイクのプロファイルがわずか0.5度でもずれると、重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。不良品が1つ出れば、何日もその対処に時間を費やさなければなりません。 私たちは、このような状況に対応するために、このフォトレジスト焼成用ランプを開発しま...