标签为“臭氧”的页面如下 无臭氧红外灯 别再让设备被过度加热了:一种更有效的红外线加热方式 如果你曾经在半导体生产环境中使用过高功率加热设备,那你就知道其中的难题所在。让晶圆达到所需温度其实并不难,但真正棘手的问题是如何避免整个设备因为过度加热而损坏。 大多数红外线灯会将热量向各个方向散发,这不仅效率低下,还会浪费大量能源,同时还会损坏... Read more...
无臭氧红外灯 别再让设备被过度加热了:一种更有效的红外线加热方式 如果你曾经在半导体生产环境中使用过高功率加热设备,那你就知道其中的难题所在。让晶圆达到所需温度其实并不难,但真正棘手的问题是如何避免整个设备因为过度加热而损坏。 大多数红外线灯会将热量向各个方向散发,这不仅效率低下,还会浪费大量能源,同时还会损坏... Read more...