如何保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净环境中加热晶圆时，容不得半点差错。哪怕有极少量的气体泄漏或颗粒物存在，都会导致硅产品的品质下降。这实在令人沮丧。因为大多数普通加热元件根本无法满足这一要求——它们会释放出微小的碎片，从而破坏一切。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。...

停止让热量在干燥线上白白浪费 如果您曾经对晶圆干燥线进行过能源审计，那么您应该很清楚问题出在哪里了——那就是灯与晶圆之间的间隙。 大多数普通的反射器只会将红外能量四处散射，大部分热量并没有照射到晶圆上，而是被反射到腔室壁上。这无疑是一种浪费。因此，我们才使用镀金反射器。 为什么选择黄金？ 因为黄金...

在半导体制造过程中，需要大量的热量以及极高的精确度。但如果仍然使用传统的电阻式加热方式，其实相当于在给房间里的空气加温，而非直接加热芯片本身。这种方式效率低下、浪费能源，还会增加能源成本。 这时，短波红外灯就派上用场了。这类灯具可以将热量直接照射到芯片上，而不必加热整个环境。这样一来，就能更快地达...