在光刻车间 在软烘焙过程中，半度的漂移足以使你的线宽变化纳米级别。如果硬烘焙的温度稍微过高，你将会烘烤出缺陷，最终影响到测试结果。如果你在追求良率，“温暖”就不够了。你需要一个能够保持晶圆级均匀性的加热器——在Class 1–100的洁净室内，稳健地、每班次都保持一致。 底层的重要性 我们将工厂加...

在晶圆厂车间，加热器不仅仅是加热腔室。它为光刻胶软烘和硬烘、晶圆清洗和干燥，以及所有温度漂移会导致叠层误差和CD偏差的工艺步骤设定了热基准。当为该加热器供电的电源线性能不达标时，并不会弹出温和的警告，而是出现漂移、颗粒激增和计划外停机。 晶圆厂加热器电源线不是普通商品。它是热控回路的最后一环，必须...