标签为“审计”的页面如下 工厂干燥系统的能源审计 停止让热量在干燥线上白白浪费 如果您曾经对晶圆干燥线进行过能源审计,那么您应该很清楚问题出在哪里了——那就是灯与晶圆之间的间隙。 大多数普通的反射器只会将红外能量四处散射,大部分热量并没有照射到晶圆上,而是被反射到腔室壁上。这无疑是一种浪费。因此,我们才使用镀金反射器。 为什么选择黄金? 因为黄金... Read more...
工厂干燥系统的能源审计 停止让热量在干燥线上白白浪费 如果您曾经对晶圆干燥线进行过能源审计,那么您应该很清楚问题出在哪里了——那就是灯与晶圆之间的间隙。 大多数普通的反射器只会将红外能量四处散射,大部分热量并没有照射到晶圆上,而是被反射到腔室壁上。这无疑是一种浪费。因此,我们才使用镀金反射器。 为什么选择黄金? 因为黄金... Read more...