工厂加热器电源线

在晶圆厂车间，加热器不仅仅是加热腔室。它为光刻胶软烘和硬烘、晶圆清洗和干燥，以及所有温度漂移会导致叠层误差和CD偏差的工艺步骤设定了热基准。当为该加热器供电的电源线性能不达标时，并不会弹出温和的警告，而是出现漂移、颗粒激增和计划外停机。 晶圆厂加热器电源线不是普通商品。它是热控回路的最后一环，必须...