晶圆加热的安全距离

在化学清洁区域对晶圆进行加热时，其实就是在玩火——真的是如此。因为那里有易燃易爆的蒸汽存在，所以不能随便把石英灯放在化学溶液上方，指望一切都能顺利进行。那样做只会引发灾难。 为了保证安全，我们需要关注两点：一是给热量适当的释放空间，二是确保所有部件都被妥善密封。 控制热量 灯与化学物质之间的距离并...