高能效晶圆加热器

如何保持100级洁净室的清洁状态 在100级洁净环境中加热晶圆时，容不得半点差错。哪怕有极少量的气体泄漏或颗粒物存在，都会导致硅产品的品质下降。这实在令人沮丧。因为大多数普通加热元件根本无法满足这一要求——它们会释放出微小的碎片，从而破坏一切。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英来制造红外线灯管。...